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真空泵

真空泵利用机械力从密闭室中抽出气体分子以获得尽可能高的真空度。其基本原理是通过建立压力梯度将气体从低压到高压的密闭空间中排除,并将其通入到出口或其他处理系统中。真空泵通常由排气部分、抽气部分、驱动部分三部分组成。